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PSFQR または PSFQD法は，ウェーハエッジの大半をカバーするサイトパターンを採用した場合に，ウェーハエッジ近傍形状を定量化するのに適している。
本ネットワーク通信スタンダード（NCS）および関連EtherCATスタンダードは，SEMIスタンダードSAN共通機器(デバイス)・モデル（CDM）仕様およびSEMIスタンダード特定機器(デバイス)・モデル（SDM）仕様（例えばマス・フロー・コントローラ）と共に，ネットワーク上のさまざまな機器(デバイス)特有のデータ構造，やりとりと相互作用，および挙動について記述している。この組み合わせのモデルは半導体製造装置内部のインテリジェントなセンサ，アクチュエータ，およびコントローラに拘る通信に関して相互に置換可能となるようなスタンダードの完成形となる。
SEMI F2 — Specification for Seamless Austenitic Stainless Steel Tubing for Semiconductor Manufacturing Applications
The purpose of this Test Method is to verify the performance of purifiers during start-up by employing analytical instrumentation to measure gas impurities and particles to customer specifications
M07300 - SEMI M73 - 測定したウェーハエッジプロファイルから直接的関連性ある特性を抽出するテスト方法 StdPbc-0709 PSFQR または PSFQD法は，ウェーハエッジの大半をカバーするサイトパターンを採用した場合に，ウェーハエッジ近傍形状を定量化するのに適している。global Silicon Wafer Committee20081119global Audits and Reviews Subcommittee20092www. semi. org20093CD ROM200811 SEMI M1 Referenced SEMI Standards SEMI M1 Specification for Polished Single Crystal Silicon Wafers SEMI M20 Practice for Establishing a Wafer Coordinate System SEMI M59 Terminology for Silicon Technology
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