Historical World Fab Report (2012 - 2023) StdDcs-Withdrawn - Historical recording and presenting the LER

Name: Historical World Fab Report (2012 - 2023) StdDcs-Withdrawn - Historical recording and presenting the LER
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Description

recording and presenting the LER or LWR of lines

装置のユーザは，ユーザの入力に依存せずに装置性能をトラッキングし，ユーザによる不正な入力やタイムリーではない入力に起因する不正確さをなくす必要がある。ユーザ入力なしで装置性能をトラッキングすることは，運転のシナリオにおいて手動介入を最小限にする必要がある300 mmウェーハの工場では重要である。EPTは，ホストコンピュータがオペレータやホスト入力なしに自動的かつ一貫性のある方法で装置の性能をトラッキングするために必要な装置データを取得できるようにする概念，動作，メッセージサービスを定義する。

SEMI PV86-0223 (technical revision)

The purpose of this Document is to standardize requirements for dimethyl sulfoxide used in the semiconductor industry and testing procedures to support those standards

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