F07400 - SEMI F74 - Test Method for the Performance and Evaluation of Metal Seal Designs for Use in Gas Delivery Systems Revision:SEMI F74-1103 (Reapproved 0710) - Inactive このテスト方法を複数のシリンダに対して使用する場合は，各シリンダをテストしなければならない。シリンダ・ガス中のパーティクル汚染は個別のシリンダの取り扱い履歴と強い関係があることが知られている。同時に充填した複数のシリンダは，それぞれ異なるユーザから異なる期間の使用の後に返却されるのが通常である。同時に充填したシリンダに対する品質の統一には，各シリンダについて充填以前の履歴の跡を消し去る専用の処理が必要である。従って，10%または20%のバッチ・サンプリングでは，シリンダごとの重大な差異があるため受け入れられない。

このテスト方法を複数のシリンダに対して使用する場合は，各シリンダをテストしなければならない。シリンダ・ガス中のパーティクル汚染は個別のシリンダの取り扱い履歴と強い関係があることが知られている。同時に充填した複数のシリンダは，それぞれ異なるユーザから異なる期間の使用の後に返却されるのが通常である。同時に充填したシリンダに対する品質の統一には，各シリンダについて充填以前の履歴の跡を消し去る専用の処理が必要である。従って，10%または20%のバッチ・サンプリングでは，シリンダごとの重大な差異があるため受け入れられない。

SEMI C29-0699 (first published - replaces SEMI C7

SEMI E84-1109 (technical revision)

SEMI E120-0703 (technical revision)

F07400 - SEMI F74 - Test Method for the Performance and Evaluation of Metal Seal Designs for Use in Gas Delivery Systems Revision:SEMI F74-1103 (Reapproved 0710) - Inactive このテスト方法を複数のシリンダに対して使用する場合は，各シリンダをテストしなければならない。シリンダ・ガス中のパーティクル汚染は個別のシリンダの取り扱い履歴と強い関係があることが知られている。同時に充填した複数のシリンダは，それぞれ異なるユーザから異なる期間の使用の後に返却されるのが通常である。同時に充填したシリンダに対する品質の統一には，各シリンダについて充填以前の履歴の跡を消し去る専用の処理が必要である。従って，10%または20%のバッチ・サンプリングでは，シリンダごとの重大な差異があるため受け入れられない。This document is a test method for evaluating metal seal designs use in gas delivery systems. It covers both surface mounted gas systems and conventional metal face seal fitting systems. Referenced SEMI Standards SEMI E49 Guide for High Purity and Ultrahigh Purity Piping Performance Subassemblies, and Final Assemblies SEMI F1 Specification for Leak Integrity of High Purity Gas Piping Systems and Components